ES62X-CMPS便携式手动探针台
ES62X-CMPS便携式手动探针台可用于晶圆探针测量。该产品可靠性高，设计紧凑，价格实惠。测量的晶圆尺寸可达300 mm。该探针台还可用于TLP、HMM、HBM、低压浪涌、RF、S参数以及 DC测量。探针台可与带真空泵和磁力支架的探针座配合使用，底部的绝缘卡盘有真空吸口，用于固定晶圆片。多个4 mm尺寸接头可从背面为晶圆提供电压偏置。
产品特点
- 便携式手动晶圆探针台
- 背面带真空吸口和晶圆偏置电位接头的绝缘卡盘
- 三目立体显微镜：3.5倍 – 90倍
- 附带5百万像素摄像头及配套软件
- 超耐用LED环形灯
- 高可靠性
- 价格实惠
产品应用
- 可用于TLP、HMM、HBM、低压浪涌、RF、S参数以及 DC测量
- 适用于不同尺寸晶圆，晶圆最大尺寸为 300 mm
- 可配用PCB磁支架，支架最大尺寸为180 X 130 mm
产品规格
ES62X-CMPS-TSM 三目立体显微镜
| 参数 | 数值 | 单位 | 备注 |
| 放大倍数 | 3.5倍 – 90倍 | ||
| 变焦能力 | 0.7倍 – 4.5倍 | ||
| 目镜 (DIN, 30mm) | WH10x20mm | dB | WH10x20mm 眼视目镜距离 |
| 三目口 | C型 或 23mm | dB | |
| 视野 | 2-1/2 | inch | |
| 工作距离 | 高达8 | inch | |
| 镜座 | 双臂底部支撑 | ||
| 头部移动 | X-, Y-, and Z-轴方向 | ||
| 照明类型 | 反射型 | ||
| 光源 | LED 环形灯，带变阻器 | mm | |
| 工作电压 | 110 – 240 | V | |
| 尺寸 | 540 x 480 x 460 | mm | |
| 重量 | 25 | kg |
ES62X-CMPS-WPS 晶圆探针台
| 参数 | 数值 | 单位 | 备注 |
| 晶圆卡盘直径 | 170 | mm | 可附着晶圆最大尺寸为300 mm |
| 晶圆卡盘材质 | 不锈钢 | 上表面为镜面抛光 | |
| 晶圆卡盘偏差 | 4 mm接头 | ||
| 尺寸 | 500 X 300 X 100 | mm | |
| 重量 | 约 14 | kg |
ES62X-CMPS-MVP 微型真空泵
| 参数 | 数值 | 单位 | 备注 |
| 极限压力 | -333 | mbar | |
| 最大抽气速率 | 7 | l/min | |
| 吸气口直径 | 6 | mm | |
| 排气口直径 | 6 | mm | |
| 额定电压 | 120 | VAC | |
| 电机功率 | 14 | W | |
| 使用寿命 | 3000 | h | |
| 尺寸 | 90 X 90 X 100 | mm | |
| 重量 | 1 | kg |
ES62X-CMPS-PCB 可调型磁性PCB固定器
| 参数 | 数值 | 单位 | 备注 |
| 最大PCB尺寸 | 180 X 130 X 2 | mm | |
| 尺寸 | 215 X 180 X 100 | mm | |
| 重量 | 约14 | kg |
产品订购信息
| 编号 | 型号 | 描述 |
| 1 | ES62X-CMPS | 便携式手动探针台（包含全部 1.x 部件） |
| 1.1 | ES62X-CMPS-TSM | 三目立体显微镜，带USB照相机和LED光源 |
| 1.2 | ES62X-CMPS-WPS | 手动晶圆探针台 |
| 1.3 | ES62X-CMPS-MVP | 微型真空泵及配件 |
| 1.4 | ES62X-CMPS-PCB | 可调型磁性PCB固定器 |
可根据客户需求定制
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